产品中心
HAICOTEC迷你模块化集成气体系统（MIGS）是一种半导体行业迷你气体管道控件面板装置。随着半导体与测控设备等相关行业对气体吸附与纯度要求越来越高。对空间向小型化和零体积化提出更高的要求,可有效减少气体的吸附。迷你模块化集成气体系统符合SEMI标准的面板安装管阀件小型化，简单化。在安装和设备保养方面更容易，组件经过了严格的制造工序和抛光及清洗等工艺处理，特别适用于要求超低泄漏与面积小的超高纯净系统。
产品特点
1、单级式调压结构,无穿孔膜片硬密封降低产品泄漏率
2、内部电解抛光处理 (EP)
3、洁净台组装、包装，提高产品洁净度
4、所有减压阀都进行压力测试与氦质谱检测
产品特点
1、单级式调压结构,无穿孔膜片硬密封降低产品泄漏率
2、内部电解抛光处理 (EP)
3、洁净台组装、包装，提高产品洁净度
4、所有减压阀都进行压力测试与氦质谱检测
产品特点
1、单级式调压结构,无穿孔膜片硬密封降低产品泄漏率
2、内部电解抛光处理 (EP)
3、洁净台组装、包装，提高产品洁净度
4、所有减压阀都进行压力测试与氦质谱检测
