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迷你模块化集成气体系统（MIGS）
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迷你模块化集成气体系统（MIGS）

所属分类

模块化集成分配系统

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产品详情

HAICOTEC迷你模块化集成气体系统（MIGS）是一种半导体行业迷你气体管道控件面板装置。随着半导体与测控设备等相关行业对气体吸附与纯度要求越来越高。对空间向小型化和零体积化提出更高的要求,可有效减少气体的吸附。迷你模块化集成气体系统符合SEMI标准的面板安装管阀件小型化，简单化。在安装和设备保养方面更容易，组件经过了严格的制造工序和抛光及清洗等工艺处理，特别适用于要求超低泄漏与面积小的超高纯净系统。

迷你模块化集成气体系统(MIGS)示意图

特征示意图